Interferenz bezeichnet die Überlagerung kohärenter Wellenfelder – typischerweise Licht-, Elektronen- oder Materiewellen – mit konstruktiver oder destruktiver Verstärkung. In den Materialwissenschaften ist Interferenz sowohl ein zentrales Messprinzip als auch eine potenzielle Störgröße in spektroskopischen und analytischen Verfahren.

Optische Interferenz tritt z.B. in Dünnschichtsystemen auf, wenn reflektierte Teilwellen an Grenzflächen unterschiedliche optische Weglängen besitzen. Die resultierenden Interferenzmuster erlauben die Bestimmung von Schichtdicken, Brechungsindizes und Rauheiten (Dünnschichtinterferenz, Weißlichtinterferometrie). In der Elektronenmikroskopie und Beugung (TEM, LEED) bilden Interferenzphänomene die Grundlage für Gitterabbildung und Phasenanalyse.

In der instrumentellen Analytik werden Interferenzen häufig als Spektralinterferenzen bezeichnet. Bei ICP-OES, ICP-MS oder AAS entstehen polyatomare oder Isotopeninterferenzen, wenn Spektrallinien überlappen oder Molekülionen nahezu gleiche Masse-Ladungs-Verhältnisse besitzen. Beispiele sind Argon- oder Oxidionen, die die Bestimmung von Spurenelementen in Legierungen stören. Kohlenstoffinterferenz kann etwa durch Bildung von Carbiden oder durch massenspektrometrische Überlagerungen auftreten.

Die Störungsminimierung umfasst Strategien zur Reduktion unerwünschter Interferenzen: spektrale Auflösungserhöhung, Korrekturalgorithmen, Hintergrundsubtraktion, chemische Modifikation der Matrix, Kollisions-/Reaktionszellen oder geeignete Probenvorbereitung. Umgekehrt wird gezielt genutzte Interferenz als hochpräzises Werkzeug in der Schichtmetrologie, in interferometrischen Sensoren und in der wellenoptischen Defektanalyse von Oberflächen eingesetzt.