FIB/REM-Serienschnitte als vielseitiges Werkzeug der Gefügeanalyse

PM Artikel

01.10.2024 (CEST)

FIB/REM-Serienschnitte als vielseitiges Werkzeug der Gefügeanalyse

M. Engstler und F. Mücklich

Materialographie

FIB - Anwendungen in der Materialographie

Quantitative Gefügeanalyse

Rasterelektronenmikroskop

mikrostrukturelle Analysen

Energie-dispersive Röntgenspektroskopie

FIB/REM-Serienschnitt

Elektronenrückstreubeugung

Die FIB/REM-Serienschnitttomographie ist ein Serienschnittverfahren, bei der die Querschnittsfläche der Probe schrittweise mit einem fokussiertem Ionenstrahl (FIB) abgetragen und die freigelegte Querschnittsfläche mit dem Rasterelektronenmikroskop (REM) abgebildet wird. Es können alle Abbildungsverfahren des REM verwendet werden, was die Anwendung in einer Vielzahl von materialwissenschaftlichen Fragestellungen erlaubt. Dabei sind einerseits Auflösungen von wenigen nm erreichbar, andererseits können Volumina mit 100 μm Kantenlänge und mehr untersucht werden. In diesem Artikel soll ein Überblick über den aktuellen Stand der Technik und die praktische Durchführung einer FIB/REM-Serienschnitttomographie gegeben werden. Auf die Besonderheiten bei der Integration von energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) und Elektronenrückstreubeugung (EBSD – electron backscatter diffraction) wird ebenfalls eingegangen

Zitieren Sie diesen Artikel

Engstler, M. and Mücklich, F.. "FIB/SEM serial sectioning as a versatile tool for microstructural analysis" https://doi.org/10.1515/pm-2024-0076 © 2023 Walter de Gruyter GmbH, Berlin/Boston, Germany

Zeitschrift

Practical Metallography, vol. 61, no. 11, 2024, pp. 865-878

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