Mechanische Größeneffekte im Mikro- und Submikrometerbereich sind von immenser Bedeutung für die Materialwissenschaft. Hier berichten wir über eine Kombination von strukturiertem chemischen Ätzen und fokussierter Ionenstrahlmikroskopie zur ortsspezifischen und zeiteffizienten Herstellung von miniaturisierten Proben zur mechanischen Prüfung. Anschließend demonstrieren wir die Anwendbarkeit dieser Proben für quantitative in-situ-Experimente in Raster- und Transmissionselektronenmikroskopen.