Dieser Beitrag diskutiert die Nutzung verschiedener Mikroskopiertechniken und deren Anwendungsgrenzen im Rahmen der Bestimmung des Flächenanteils von Gefügebestandteilen. Vorgestellt wird das Konzept der kombinierten Anwendung verschiedener Mikroskoptypen zur Bestimmung des Flächenanteils in Abhängigkeit von den Größen der auszuwertenden Objekte. Die entsprechenden Messmodelle und Formeln zur korrekten Berechnung des Anteils an der Gesamtfläche in zwei-, drei-, vier- oder fünfstufigen Analysen anhand von licht- und elektronenmikroskopischen Verfahren werden zusammen mit praktischen Beispielen und Ergebnissen vorgestellt. Bei diesem kombinierten Ansatz werden die Vorteile jedes einzelnen Mikroskoptyps genutzt und gleichzeitig deren Nachteile vermieden. Ein Konzept des lokalen Flächenanteils wird vorgestellt und bei der quantitativen Bestimmung einer Karbidphase in einem handelsüblichen Niob-Schnellarbeitsstahl angewendet. Die geeigneten Varianten der Verfahrenskombinationen werden für verschiedene Größenordnungen und Größenverteilungen der zu untersuchenden Objekte empfohlen. Die beschriebenen Verfahrensweisen ermöglichen eine genaue Auswertung des Flächenanteils in Fällen, in denen einzelne Mikroskopiertechniken mit ihren Möglichkeiten nicht ausreichen.