TiAlN- und AlN-Multilayer-Beschichtungen wurden auf Schnellarbeitsstahl (HSS)- und Hartmetall-(HM)-Substraten durch Impuls-DC-Magnetronsputtern mit zwei Targets aufgebracht. Die Leistung des TiAl-Targets wurde konstant gehalten, während die Leistung des Al-Targets variiert wurde. Zur Charakterisierung von Gefüge und Morphologie kamen Rasterelektronenmikroskopie und Röntgenbeugung zum Einsatz. Die Leistung des Aluminiumtargets beeinflusste Gefüge und Morphologie der Beschichtung. Beschichtungen, die durch eine geringe Leistung des Aluminiumtargets erzeugt wurden, wiesen eine kubische B1-Struktur auf. Wurde die Leistung erhöht, trat die hexagonale Struktur klarer hervor.