Anwendung der digitalen holographischen Interferenzmikroskopie zur Untersuchung dünner, transparenter Schichten

PM Artikel

26.09.2016

Dmitry Nikolayevich Tishko, Tatyana Vasilyevna Tishko, and Vladimir Petrovich Titar

Materialographie

Quantitative 3-D Mikroskopie von Oberflächen

digitale holographische Interferometrie

dünne transparente Schichten

AlN-Beschichtungen

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© Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG ISSN 0032-678X

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