In dieser Arbeit wird das digitale holographische Interferenzmikroskop (DHIM) zur Untersuchung dünner, transparenter Schichten auf transparenten Substraten vorgeschlagen. Mit dem DHIM lassen sich die Oberflächen dünner, transparenter Schichten als 3D-Bilder abbilden und ihre geometrischen Parameter (Dicken, Defektgrößen) messen. Es werden das holographische Interferometrieverfahren und die optische Anordnung des DHIM beschrieben. Es werden die experimentellen Ergebnisse der Untersuchung dünner Beschichtungen aus AlN auf Acrylsubstraten vorgestellt.