Für das Verständnis von Gefüge-Eigenschaftsbeziehungen sowie zur Aufklärung von Korrosionsmechanismen sind die detaillierten Gefügedarstellungen an keramischen Werkstoffen von großer Bedeutung. Die Möglichkeiten der detailierten Gefügedarstellung mittels hochauflösender Feldemissionsrasterelektronenmikroskopie in Kombination mit der EDX-Analyse sowie der FIB-Technik werden an polierten und elektrochemisch korrodierten LPS- (liquid phase sintered SiC) und SSiC-Werkstoffen demonstriert. Möglichkeiten der Darstellung von Diffusionszonen in halbleitenden SiC-Körnern werden vorgestellt. Diese Methoden erlauben auch die durch elektrochemische Korrosion beobachteten Kern-Hülle-Strukturen zu erklären.