Im Zuge der großen Fortschritte in der Kamera- und Computertechnik hat sich EBSD innerhalb von nur zwei Dekaden in ein mächtiges Werkzeug zur quantitativen Charakterisierung des Gefüges von Festkörperoberflächen in den Werkstoff- und Erdwissenschaften entwickelt. Die Messgeschwindigkeit liegt bereits bei mehr als 1 000 Einzelorientierungen pro Sekunde, so dass man durch Abrastern der Probenoberfläche detailreiche Orientierungsverteilungsbilder erhält („Orientierungsmikroskopie“) und die Kristalltextur analysieren kann. Die Ortsauflösung liegt bei wenigen 10 nm. EBSD ist ein weitgehend automatisiertes und benutzerfreundliches Verfahren. Die aktuelle Entwicklung geht heute in Richtung einer 3D Orientierungsmikroskopie durch Kombination von EBSD mit der gezielten, schichtweisen Oberflächenabtragung mittels Ionenzerstäubung (FIBing), sowie der Phasendiskriminierung durch Kombination von EBSD mit analytischen Verfahren wie EDX, der Auswertung der Rückstreuelektronenausbeute und der Einbindung von Zusatzinformation wie der Morphologie und Kontrastierungsverfahren.