59. Metallographie-Tagung 2025 - Materialographie
Vortrag
10.10.2025
Genauer, schneller, besser - wie genau sind wir in der Zielpräparation wirklich? Ergebnisse des Gemeinschaftsversuches des AK "Probenpräparation" der DGM zur Zielpräparation (2024)
HS

Dr. Holger Schnarr

Struers GmbH

Schnarr, H. (V)¹
¹Struers GmbH
Vorschau
22 Min. Untertitel (CC)

Im Jahr 2009 wurde der erste Gemeinschaftsversuch des Arbeitskreises "Probenpräparation" der DGM initiiert und ausgewertet. Die Ergebnisse wurden in der Praktischen Metallographie Bd. 49, Heft 10 (2012) veröffentlicht. Fast 15 Jahre später hat der Arbeitskreis erneut dieses Thema mit einem weiteren Versuch zur "Zielpräparation 2.0" aufgegriffen. Wieder wurden Proben aus dem Bereich der Mikroelektronik verwendet, um die erreichbare Genauigkeit einer klassischen metallographischen Präparation zu ermitteln. Zusätzlich sollte aufgezeigt werden, ob sich die Möglichkeiten hinsichtlich Gerätetechnik, Vermessung und Auswertung für solche Zielpräparationen in 15 Jahren verändert haben. Als Sekundärziel neben der Zielpräparation sollte auch eine Schichtdickenmessung am gleichen Bauteil durchgeführt werden.

Die Proben wurden mit den vorhandenen Mitteln beim jeweiligen Teilnehmer präpariert, ausgewertet und dokumentiert. Alle Proben wurden im Anschluss zentral geröntgt und die Abweichung zur Zielebene visualisiert.

Als Probenmaterial wurden elektronische Bauteile mit Lötkugeln und beschichteten Bereichen mit verschiedenen Schichtdicken (Cu, NiP, Au) gewählt.

Am Gemeinschaftsversuch nahmen insgesamt 12 Firmen und Institute teil.

Abstract

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