Laser Precision Microfabrication (LPM) 2022
Poster
TSDipl.-Ing. Tobias Steege
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Steege, T. (Speaker)¹; Lull, F.¹; Stegert, A.¹; Schöps, P.¹; Zwahr, C.¹; Franke, V.¹; Klotzbach, U.²; Lasagni, A.F.³
¹Fraunhofer Institute for Material and Beam Technology IWS Dresden; ²Fakultät Maschinenbau, Hochschule für Technik und Wirtschaft Dresden, Germany & EFDS - Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V., Dresden, Germany; ³Technische Universität Dresden
Abstract
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