Ein Oberflächendefekt ist eine Abweichung von der idealen Werkstoffoberfläche, etwa Risse, Poren, Einschlüsse, Kratzer oder Rauheitsspitzen. Diese Defekte erzeugen lokale Spannungskonzentrationen, beeinflussen Korrosions- und Verschleißverhalten und dienen häufig als Initiationsorte für Ermüdungsrisse. In der Werkstofftechnik werden sie mittels REM, AFM, Profilometrie oder zerstörungsfreier Prüfverfahren charakterisiert und durch geeignete Prozessführung oder Nachbearbeitung minimiert.