Punktdefekte sind atomare Fehlstellen in Kristallen, deren Ausdehnung auf wenige Gitterplätze begrenzt ist. Dazu zählen Leerstellen, Zwischengitteratome, Substitutionsatome und Frenkel- sowie Schottky-Defekte. Sie beeinflussen Diffusion, elektrische und ionische Leitfähigkeit, Versetzungsbewegung sowie Phasengleichgewichte. In Legierungen steuern Punktdefekte Ausscheidung, Härtung und Kriechverhalten; in Halbleitern bestimmen sie Dotierungseffizienz, Rekombinationsraten und Strahlenschäden.