Hochseitenverhältnisstrukturen

Hochseitenverhältnisstrukturen weisen ein deutliches Längen-Breiten-Verhältnis auf und werden meist mittels fortschrittlicher Lithografie- und Ätzverfahren hergestellt. Diese Strukturen sind zentral für Anwendungen in Elektronik, Photonik und mikro-/nanotechnologischen Fertigungsprozessen.

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