EDS-Analysen (energiedispersive Röntgenspektroskopie) sind eine mikroanalytische Methode, bei der durch Elektronenbeschuss induzierte charakteristische Röntgenstrahlung zur Bestimmung der Elementzusammensetzung genutzt wird. In Kombination mit REM oder TEM erlaubt EDS die ortsaufgelöste Analyse von Phasen, Ausscheidungen und Grenzflächen. Quantifizierung erfordert Matrixkorrekturen und Detektorkalibrierung und ist bei leichten Elementen und Überlappungslinien limitiert.