Hybride Laser-Mikrofertigung kombiniert verschiedene laserbasierte Techniken zur präzisen Bearbeitung von Werkstoffen im Mikromaßstab. Durch die Integration von Abtrags- und Modulationstechniken können komplexe Strukturen mit hoher Genauigkeit erzeugt werden, was neue Möglichkeiten in der Mikrosystemtechnik eröffnet.