Aerosolabscheidung ist ein Niedertemperaturverfahren, bei dem keramische oder metallische Mikropartikel in einem Trägergas beschleunigt und beim Aufprall auf ein Substrat zu dichten, hochhaftfesten Schichten verfestigt werden. Die Schichtbildung beruht auf Partikelfragmentierung, Kaltverfestigung und mechanischer Verzahnung. Das Verfahren erlaubt dicke, spannungsarme Funktionsschichten auf temperaturempfindlichen Substraten für Sensorik, Aktorik und Energiespeicher.