Der Sauerstoffpartialdruck ist der Anteil des Gesamtdrucks, der auf gasförmigen Sauerstoff entfällt, und steuert maßgeblich Oxidations- und Reduktionsreaktionen von Werkstoffen. Er bestimmt Stabilität von Oxiden, Defektchemie, Sauerstoffstöchiometrie und Ionenleitfähigkeit in Oxidkeramiken. In Hochtemperaturprozessen, Sinterung, Korrosionstests und Beschichtungen wird der Sauerstoffpartialdruck gezielt eingestellt, um Phasenfelder, Porenbildung, Schutzschichten und Lebensdauer zu kontrollieren.