Oberflächenevolution beschreibt die zeitliche Veränderung von Topographie, Morphologie und chemischer Zusammensetzung von Werkstoffoberflächen. Sie resultiert aus Prozessen wie Diffusion, Korrosion, Oxidation, Abscheidung, Abtrag, Umordnen unter Spannung oder Strahlungseinwirkung. In der Werkstoffwissenschaft werden Modelle der Oberflächenevolution genutzt, um Rauheitsentwicklung, Rissinitiierung, Grenzflächenstabilität, Dünnschichtwachstum und selbstorganisierte Musterbildung quantitativ zu beschreiben und zu steuern.