Sekundarionen-Massenspektrometrie ist eine oberflächensensitive Analysenmethode, bei der ein Primärionenstrahl Sekundärionen aus der Probe sputtert, die massenspektrometrisch detektiert werden. Sie ermöglicht Element- und Molekülanalytik mit hoher lateraler und Tiefenauflösung, geeignet für Dotierungsprofile, Grenzflächenchemie, Kontaminationen und Mapping komplexer organischer und anorganischer Materialien bis in den Nanometerbereich.