Nanoindentation ist ein instrumentierter Härteprüfprozess, bei dem eine definierte Eindringkörpergeometrie mit nanometergenauer Kraft- und Wegauflösung in die Oberfläche gedrückt wird. Aus Kraft-Weg-Kurven werden elastischer Modul, Härte und ggf. zeitabhängiges oder plastisches Verhalten lokaler Mikrostrukturen, dünner Schichten oder einzelner Körner bestimmt, oft korreliert mit mikroskopischen Gefügeuntersuchungen.
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