Kaltes atmosphärisches Plasma bezeichnet ein Plasma, das bei nahezu Raumtemperatur betrieben wird, wodurch empfindliche Materialien nicht thermisch beeinträchtigt werden. Es wird in der Werkstoffforschung zur Oberflächenmodifikation eingesetzt, um Adhäsionseigenschaften zu verbessern, Reinigungsprozesse zu unterstützen und funktionelle Kontakte zu schaffen.