Präparationsartefakte sind durch Probenvorbereitung induzierte Veränderungen, die die tatsächliche Mikro- oder Nanostruktur verfälschen, etwa Einbettungsrisse, Ionenstrahlschäden, Auslaugung oder Umlagerung von Phasen. In der Werkstoffcharakterisierung können sie zu Fehlinterpretationen mechanischer, chemischer oder morphologischer Eigenschaften führen und müssen durch optimierte Präparationsprotokolle identifiziert und minimiert werden.