High-NA-Fokussierung nutzt optische Systeme mit hoher numerischer Apertur, um Strahlen auf kleinstem Raum mit hoher Auflösung zu fokussieren. Diese Methode ist essenziell für Lithografie, Mikrofabrikation und Nanoanalysen, da sie eine enge Fokussierung und präzise Steuerung ermöglicht.