Ionenimplantation

Ionenimplantation ist ein nichtgleichgewichtsbasierter Diffusionsersatzprozess, bei dem beschleunigte Ionen in Festkörper eingebracht werden, um deren chemische Zusammensetzung und Defektstruktur nahe der Oberfläche zu modifizieren. Sie ermöglicht präzise Dotierung, Phasenbildung und Spannungsinduktion ohne hohe Prozesstemperaturen. In der Werkstoffwissenschaft wird sie zur Einstellung von Halbleitereigenschaften, Härte, Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit eingesetzt.