Oberflächenstrukturen bezeichnen die topografische und chemische Beschaffenheit einer Werkstoffoberfläche von atomarer bis mikroskopischer Skala. Sie umfassen Rauheit, Stufen, Defekte, Rekonstruktionen und Adsorbate. Diese Struktur bestimmt Benetzbarkeit, Adhäsion, Reibung, Korrosion, Katalyse sowie mechanische und optische Grenzflächeneigenschaften und wird gezielt durch Verfahren wie Ätzen, Beschichten, Ionenstrahlen oder Lithografie eingestellt.