Elementaranalyse erfasst qualitativ und quantitativ die chemische Elementzusammensetzung eines Werkstoffs. Methoden umfassen spektroskopische und spektrometrische Verfahren wie RFA, OES, ICP-OES/MS, AAS, EPMA und WDX/EDX im Elektronenmikroskop. Sie unterscheiden sich in Nachweisgrenzen, Ortsauflösung und Matrixempfindlichkeit. Elementaranalyse ist zentral für Legierungsdesign, Reinheitskontrolle, Diffusionsstudien und die Korrelation von Mikrostruktur mit lokalen chemischen Variationen.