Die Scan-Geschwindigkeit bezieht sich auf die Rate, mit der Abtast- oder Messverfahren über eine Materialoberfläche geführt werden. Eine optimierte Geschwindigkeit ist entscheidend, um eine hohe Datengenauigkeit und Auflösung zu erzielen, ohne dabei Durchlaufzeiten unnötig zu verlängern, was in der Qualitätskontrolle und Materialforschung von Bedeutung ist.