Rasterelektronenmikroskopie nutzt fokussierte Elektronenstrahlen, die zeilenweise über die Probenoberfläche geführt werden. Sekundär- und Rückstreuelektronen liefern topografische und chemokontrastreiche Bilder mit Auflösungen bis in den Nanometerbereich. Ergänzend ermöglichen EDX und EBSD lokale chemische Analysen und Kristallorientierungsbestimmung. REM ist ein zentrales Werkzeug zur Gefügecharakterisierung, Bruchflächenanalyse und Untersuchung von Korngrenzen und Phasen.
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