Dielektrische Barriereentladung

Dielektrische Barriereentladung ist eine Gasentladung zwischen Elektroden, die durch mindestens eine dielektrische Barriere getrennt sind. Kurze Mikroentladungen begrenzen Strom und Temperatur, sodass nichtthermische Plasmen bei Atmosphärendruck erzeugt werden. In der Werkstofftechnik dient sie zur Aktivierung und Reinigung von Oberflächen, zum Niedertemperatur-Plasmaätzen, zur Abscheidung dünner Schichten (PECVD) sowie zur Modifikation von Haftung, Benetzbarkeit und Polymerfunktionalität.