Emissionsspektroskopisches Verfahren, bei dem ein fokussierter Laser auf der Probenoberfläche ein Mikroplasma erzeugt. Die im Plasma emittierten diskreten Spektrallinien ermöglichen die simultane Mehrkomponenten-Elementanalyse von Feststoffen, Pulvern und Flüssigkeiten. Wichtige Parameter sind Pulsenergie, Fokusgeometrie, Plasmadynamik und Matrixeffekte, die Nachweisgrenzen, Quantifizierbarkeit, Tiefenprofilierung sowie laterale Auflösung in der Materialcharakterisierung bestimmen.