Mehrschichtige Stapel sind Strukturen aus mehreren funktionalen Schichten, die sequenziell auf einem Substrat oder übereinander deponiert werden. In der Werkstoffwissenschaft dienen sie zur Kombination unterschiedlicher mechanischer, elektrischer, optischer oder chemischer Eigenschaften, z.B. in Barriereschichten, optischen Interferenzfiltern, Funktionsgradienten oder mikroelektronischen Bauelementen. Grenzflächenqualität und Spannungsmanagement sind dabei kritisch.