Massenspektrometrie trennt und detektiert geladene Teilchen nach ihrem Masse‑zu‑Ladung‑Verhältnis und ermöglicht die Analyse von Element‑ und Isotopenzusammensetzung sowie Molekülstrukturen. In der Werkstoffwissenschaft wird sie in Varianten wie SIMS, GD-MS oder LA-ICP-MS für Spurenelementanalytik, Tiefenprofilierung, Diffusionsstudien und Verunreinigungscharakterisierung eingesetzt. Hohe Empfindlichkeit und räumliche Auflösung erlauben die Korrelation chemischer Heterogenitäten mit Mikrostruktur und Eigenschaften.