TEM-Probenvorbereitung umfasst alle Schritte zur Erzeugung elektronentransparenter Bereiche (<100 nm) für die Transmissionselektronenmikroskopie. Methoden sind mechanisches Ausdünnen, Ionenstrahl- oder Plasmadünnung, Fokussierter-Ionenstrahl-Lamellenpräparation und Ultramikrotomie. Ziel ist die artefaktarme Darstellung repräsentativer Gefügebereiche, wobei Kristallstruktur, chemische Stabilität und Empfindlichkeit des Werkstoffs das Vorgehen bestimmen.