Isotopenverdünnung-Massenspektrometrie ist eine hochpräzise quantitative Analysenmethode, bei der einer Probe ein definierter Anteil eines isotopenangereicherten Standards zugesetzt wird. Aus dem Isotopenverhältnis wird die Elementkonzentration rückgerechnet. In der Werkstoffwissenschaft dient sie zur Bestimmung von Spuren- und Matrixelementen, Diffusionskoeffizienten und Korrosionsraten. Sie wird mit TIMS, MC-ICP-MS oder ICP-MS kombiniert und erfordert sorgfältige Probenaufbereitung und Kalibrierung.