Isotopenverdünnung-Massenspektrometrie ist ein quantitatives Analyseverfahren, bei dem eine mit einem Isotop markierte Standardsubstanz zur Bestimmung der Analytenkonzentration in Proben verwendet wird. Die Methode gewährleistet hohe Genauigkeit und dient in der Werkstoffanalytik der präzisen Standardisierung von Messungen.