Elektronenrückstreubefeldanalyse ist eine im Rasterelektronenmikroskop durchgeführte Beugungsmethode, bei der rückgestreute Elektronen Kikuchi-Muster erzeugen. Aus diesen werden kristallographische Orientierung, Phasenverteilung, Textur und Fehlorientierungen mit hoher räumlicher Auflösung bestimmt. EBSD erlaubt die Analyse von Rekristallisation, Umformpfaden, Korngrenzcharakter und spannungsinduzierten Phasenumwandlungen.