Chemisches Ätzen ist die kontrollierte Materialabtragung durch selektive chemische Reaktionen zwischen Werkstoffoberfläche und Ätzmedium. In der Metallographie werden Gefügebestandteile mit unterschiedlicher Potenziallage oder Reaktivität unterschiedlich schnell gelöst und so kontrastiert. In der Mikro- und Nanofabrikation ermöglicht isotropes oder anisotropes Ätzen die Strukturierung. Kinetik, Selektivität und Unterätzung werden durch Temperatur, Konzentration und Diffusion bestimmt.