NbTiN-Beschichtungen basieren auf einer Legierung aus Niob, Titan und Stickstoff, die unter Hochvakuum und erhöhten Temperaturen abgeschieden wird. Diese Beschichtungen zeichnen sich durch hohe Härte, chemische Stabilität und gute elektrische Leitfähigkeit aus und finden Anwendung in der Elektronik sowie in mechanisch beanspruchten Bauteilen.