Elektronenrückstreudiffraction ist eine rasterelektronenmikroskopische Technik zur Kristallstrukturanalyse. Schräg einfallende Elektronen erzeugen in kristallinen Proben Kikuchi-Muster, aus denen lokale Kristallorientierung, Phasenverteilung, Textur und Korngrenzcharakter bestimmt werden. EBSD ermöglicht die Korrelation von Mikrostruktur mit mechanischem Verhalten, Umformpfaden und Schädigung auf Submikrometer-Skala.