Elektronenrückstreubeugungsanalyse ist eine rasterelektronenmikroskopische Methode zur Bestimmung lokaler Kristallorientierungen, Phasen und Texturen über Beugung rückgestreuter Elektronen an der Probenoberfläche. Aus Kikuchi-Mustern werden Orientierungsabbildungen, Korngrenzencharakter, Fehlorientierungsstatistiken und Phasenverteilungen mit hoher lateraler Auflösung gewonnen, essenziell für Gefügeanalyse, Umformtexturen und Versetzungsstrukturen.