Schichtdicke ist das Maß für die vertikale Ausdehnung einer aufgebrachten oder gewachsenen Schicht und bestimmt optische, elektrische, mechanische und Diffusionseigenschaften von Beschichtungen und Dünnfilmen. Sie wird mittels Profilometrie, Ellipsometrie, Röntgenreflektometrie, Fokussierter Ionenstrahl-Querschliffen oder Kalottenschliffverfahren ermittelt und ist zentral für Prozesskontrolle und Funktionsauslegung.