FIB-SIMS Bildgebung kombiniert den fokussierten Ionenstrahl (FIB) mit der Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) zur hochauflösenden, chemischen Oberflächenanalyse. Dieses Verfahren erlaubt die dreidimensionale Visualisierung von Elementverteilungen und molekularen Strukturen an der Materialoberfläche.
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