Spurenelementanalyse umfasst den quantitativen Nachweis von Elementen in sehr niedrigen Konzentrationen, häufig im ppm- bis ppb-Bereich. In der Werkstoffwissenschaft werden Methoden wie ICP-MS, GD-MS, TXRF, SIMS oder Neutronenaktivierungsanalyse eingesetzt. Spurenelemente beeinflussen Korrosion, Ausscheidungsbildung, Versprödung und elektrische Eigenschaften und sind daher für Qualitätskontrolle und Legierungsdesign kritisch.