Induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie ist eine ultrasensitive Analysenmethode, bei der Proben in einem argonbasierten Hochfrequenzplasma atomisiert und ionisiert und die Ionen anschließend massenaufgelöst detektiert werden. Sie ermöglicht Mehr-Element-Spurenanalyse, Isotopenverhältnismessung und Nanopartikel-Charakterisierung und wird zur Reinheitskontrolle, Diffusionsanalyse und Verfolgung von Legierungs- oder Kontaminationsverläufen eingesetzt.