Epitaktisches Kornwachstum bezeichnet das gerichtete Wachstum eines Korns auf einem kristallinen Substrat, wobei dessen Gitterorientierung weitgehend übernommen wird. In Dünnschichten und Folien entsteht so eine texturierte oder quasi-einkristalline Mikrostruktur. Werkstoffwissenschaftlich sind Gitterfehlanpassung, Verspannungen, Grenzflächenenergie sowie Korngrenzenmobilität entscheidend, da sie Defektdichte, anisotrope mechanische Eigenschaften, elektrische Leitfähigkeit und Korrosionsverhalten bestimmen.