Physikalische Gasphasenabscheidung umfasst vakuumbasierte Verfahren, bei denen Atome oder Moleküle aus einer Quelle physikalisch freigesetzt und als dünne Schichten kondensiert werden (z.B. Verdampfung, Sputtern, Ionenplattieren). Sie ermöglicht dichte, adhäsive Schichten mit definierter Zusammensetzung und Mikrostruktur. In der Werkstoffwissenschaft ist PVD zentral für Hartstoffschichten, Diffusionsbarrieren, optische und funktionale Beschichtungen auf Metallen, Keramiken und Polymeren.
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