Hierarchische Oberflächenstrukturen sind Oberflächen, die strukturierte Merkmale auf mehreren, meist verschachtelten Längenskalen von Nano‑ bis Makroebene aufweisen. Solche Hierarchien verändern Benetzbarkeit, Adhäsion, Reibung, optische und biologische Interaktionen und dienen als Vorbild für biomimetische Werkstoffe. In der Werkstoffwissenschaft werden sie durch Lithographie, Laserstrukturierung, Selbstorganisation oder Ätzprozesse erzeugt und gezielt zur Erzeugung superhydrophober, antibakterieller oder antifouling Oberflächen eingesetzt.