Mikrohärte bezeichnet die mit sehr kleinen Prüflasten und Eindringkörpern bestimmte lokale Härte von Werkstoffen. Sie erlaubt die Charakterisierung einzelner Phasen, Körner oder Schichten, etwa in Dünnschichten, Gradientenwerkstoffen oder Wärmeeinflusszonen. Typische Verfahren sind Vickers- und Knoop-Mikrohärteprüfungen. Die Mikrohärte korreliert mit lokalen plastischen Eigenschaften, Versetzungsdichte und Mikrostruktur und wird zur Bewertung von Alterung, Diffusion, Ausscheidungen und Beschichtungsqualität eingesetzt.