Energie-dispersive Spektroskopie

Energie-dispersive Spektroskopie ist eine röntgenspektroskopische Methode, bei der durch Elektronen- oder Röntgenanregung emittierte charakteristische Röntgenstrahlung energieaufgelöst detektiert wird. Sie ermöglicht qualitative und quantitative Elementanalyse von Makro- bis Submikrometerskalen, häufig gekoppelt mit SEM oder TEM. Matrixeffekte, Nachweisgrenzen und Strahlenschäden begrenzen Genauigkeit und Ortsauflösung.