Ätzmethoden sind Verfahren zum kontrollierten Abtrag von Material durch chemische, elektrochemische, physikalische oder kombinierte Mechanismen. In der Werkstoffwissenschaft dienen sie zur Mikrostrukturpräparation (Metallographie), Mikro-/Nanostrukturierung, Tiefenprofilanalyse und Freilegung von Korngrenzen oder Phasen. Varianten umfassen Nassätzen, Trockenätzen (Plasma, Ionenstrahl), reaktives Ionenätzen und fokussierten Ionenstrahl mit jeweils spezifischer Selektivität und Anisotropie.