Die Mikro-XRF-Analyse ist eine berührungslose, zerstörungsfreie Methode zur Erfassung der chemischen Elementzusammensetzung in kleinen Materialvolumina. Durch hochauflösende Röntgenfluoreszenz wird eine präzise Elementabbildung ermöglicht, die Aufschluss über Verteilung und Konzentration der Bestandteile in einem Werkstoff gibt.